自由曲面三维面型检测仪（FF系列）

从 800mm 口径的大反射镜，到 1mm 口径的微透镜阵列，瑞霏光电自由曲面测量系统提供全面的面型测量能力。

产品优势

✔️ 对各种自由曲面光学元件的表面进行非接触全口径测量
✔️ 简单、精确、快速、可重复的测量方式，表面无需喷粉处理
✔️ 自动完成数据对比分析误差，完善的三维分析功能

测量功能

✔️ 三维面型数据测量

✔️ 面型逆向分析

✔️ 面型轮廓精度评价

适用对象
 

自由曲面反射镜、曲面盖板玻璃、模芯、精密模具、玻璃面板、透镜、微透镜阵列、晶圆片等

测量原理

• 结构光反射三维重构原理：多相机拍摄经被测镜面反射的变形的结构光图案，通过重构算法计算出被测镜面的三维面型，通过与理想面型数据进行比对，获得自由曲面的面型误差分布和其它分析数据。
• 采用优化系统结构设计、高精度标定方法和先进的重构算法实现高测量精度。

从产品研发、生产过程到质量控制，这款独立的系统可用于开展光学设计、加工与检测的前端研发设计过程、智能生产过程和后端质量检测过程。

应用范例

塑料自由曲面反射镜

玻璃自由曲面反射镜

模芯

晶圆片

测量分析软件

具有丰富分析功能同时易用性强的三维测量分析软件，包括：三维轮廓误差 PV、RMS、表面瑕疵、曲率、斜率、尺寸分析、各种多项式拟合、空间滤波和各类数据导出。

FF系列技术规格

（* 表示以口径200mm凹面镜为基准的典型值，具体指标随零件口径和凹凸性质有调整。）

FF 系列瑞霏光电自由曲面测量系统将三维轮廓、三维误差、表面瑕疵、斜率曲率分析整合进入每一次测量，确保我们的客户在精密自由曲面领域提供品质领先的产品。