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TGV应力显微测量仪
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TGV应力显微测量仪
TGV150 应力显微测量仪基于应力双折射光弹法原理，具备玻璃基板及TGV微孔周边应力测量功能，具有高精度定量和高分辨率显微测量的特点，能够广泛应用于TGV玻璃基板和玻璃晶圆激光改性、蚀刻和CMP等制程的工艺研发和质量评估。
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